試樣的制備質量和有關要求對于維氏硬度試驗結果的影響十分明顯。標準中對試樣表面質量、試樣厚度及在曲面上進行試驗的要求做了明確規定。

       試樣表面質量：

       由于維氏硬度壓痕尺寸很小，壓痕對角線長度測量誤差對維氏硬度值相對影響較大，如果試樣表面過于粗糙，在壓痕尖部會模糊不清，造成測試人員測量的誤差加大，并使測量結果分散度變大。這是由于粗糙的表面影響了對線盒測量的準確度所致。這對于在小試驗力下產生的壓痕測量尤其明顯，因為同一測量誤差在小尺寸壓痕上占的比例明顯變大。標準中對不同試驗條件下試樣表面質量規定為：

       試樣表面應平坦光滑，試驗面上應無氧化皮及外來污物，尤其不應有油脂，除非在產品標準中另有規定。試樣表面的質量應能保證壓痕對角線長度的**測量，建議試樣表面粗糙度達到圖示要求。

試樣類型	表面粗糙度參數*大值(Ra)/μm
維氏硬度試樣	0.4
小負荷維氏硬度試樣	0.2
顯微維氏硬度試樣	0.1

       對于顯微硬度試樣，本標準中建議在加工中“根據材料特性采用拋光/電解拋光”的規定。不同的試樣加工方**導致差別較大的顯微硬度試驗結果，這是由于不同的加工方法在試樣上產生的表面硬化層厚度不同，這對于壓入深度很小的顯微硬度試驗結果影響尤其明顯。當采用電解拋光時，則可減小這個影響，用機械拋光和電解拋光加工試樣表面的大量對比試驗數據表明，**的機械拋光可使鋼的顯微硬度值增高25%——28%；使鋁合金顯微硬度值增高10%——12%；使銅合金顯微硬度值增高45%——55%。有關資料表明，用鈹青銅（QB.2.0）和合金鋼（2Cr13Ni12）進行試驗時，在不同的試驗力下，機械拋光試樣的顯微維氏硬度均高于電解拋光的試樣，對于硬度較低的材料，兩種加工方法得到的結果相差較大，這是由于較軟的材料在機械拋光中會產生較明顯的硬化層，從而導致硬度增加。由于顯微維氏硬度試驗是在很小的試驗力下進行的，因此壓痕很小，為了保證在試樣表面獲得邊緣清晰的壓痕，對試樣表面質量應有明確要求，根據國家標準對表面質量參數的新規定，要求顯微維氏硬度試樣表面粗糙度Ra應不大于0.1μm，這個規定與原標準中的表面光潔度▽10相近，對鈹青銅進行試驗的結果表明，當表面粗糙度Ra小于0.1μm時，再提高表面質量對顯微硬度也沒明顯改變。